半导体电子行业压缩空气 particle检测需满足什么
时间：2023-11-23 13:55 点击次数：
半导体、实验室等制造、科研产业对洁净度的要求愈发严格，对气源及气体管路的检测规格有了更高的要求。低浓度杂质将导致合格频率下降，高浓度杂质可能导致批量产品报废、损坏设备、引起安全事故。
particle直观破坏：
固体颗粒将破坏电子产品的表面。视觉缺陷→表面颗粒/埋层颗粒/图形多余/图形缺失/划伤/图形连条。
particle是造成良率不高的原因之一，尤其在现在的制程越来越小的情况下，若管路中含有过多的particle，会造成晶片的良率大大下降。
particle检测达标要求：
被测气体中0.1-0.3微米的颗粒总数≤35且连续测量至少3次全部达标。
尘埃粒子检测设备：选择0.1微米的激光尘埃粒子计数器。
（1）先将待测管路预吹1小时以上；
（2）将待测管路衔接至particle count仪进气端；
（3）打开电源，预热数分钟，并将出气阀门打开；
（4）开始测试，若合格，当即将测试结果打印出来；
particle检测注意事项:
要连续3min内都合格，才是*有效值。在测试过程中，如若遇到检测数据不合格，则当次数据作废，重新检测一次，直至合格。若排除管路原因，数据仍不达标，则应检查其气源是否合格。
